Если под деревянным полом бетонное основание, то конечно-же не стоит делать стяжку поверх деревянного пола.
Самый лучший вариант - снять всё "дерево" и сделать сухую стяжку из керамзитового песка и специальных элементов из ГВЛ (Knauf такие производит), или сделать наливные полы. Оба эти варианта достаточно затратные, и по стоимости и по труду, но зато практически "вечные".
Но если всё-же есть такая необходимость и стяжку "ну очень нужно" сделать именно поверх деревянного пола, то лучше всего уложить сверху слой фанеры 8-12 мм, на фанеру уложить ГВЛ 12,5 мм, и уже на ГВЛ укладывать плитку или какое-то доугое покрытие. Можно и без предварительной стяжки. ГВЛ и будет выполнять роль "сухой" стяжки.
Фанера под ГВЛ нужна обязательно. Она выровняет поверхность и придаст дополнительную прочность. Основание под ГВЛ должно быть сплошным. ГВЛ материал всё-же пластичный, в какой-то степени, и при длительной эксплуатации может принять форму неровностей пола, может частично "просесть" на неровностях и это приведёт к разрушению цементной стяжки.
Только вот спрогнозировать сколько всё это "хозяйство" прослужит, наверное невозможно. Всё будет зависеть от состояния деревянного пола и условий его дальнейшей эксплуатации.